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3nm大战即将打响!

2021/2/2 15:53:21
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兆亿微波商城】上周,业内最受关注的新闻,非三星计划在美国德克萨斯州奥斯汀建设一个价值100亿美元的晶圆厂莫属了。这被认为是其追赶台积电发展步伐的又一举措。实际上,三星在美国建新晶圆厂已经不是什么新闻了,该公司在这方面早有想法,特别是去年台积电宣布在美国亚利桑那州投资120亿美元新建5nm晶圆厂以后,三星希望在其美国原有晶圆厂的基础上,更上一层楼,不被台积电甩在远处。


3nm大战即将打响!


在5nm制程方面,三星已经赶上了台积电的脚步,于2020年实现了量产。但在3nm上,三星似乎还是落后于台积电的,据报道,台积电已经为其3nm工艺的晶圆厂投资了200亿美元。为了缩短差距,有报道称,三星将完全跳过4nm制程节点,直接上3nm。


由于3nm制程工艺的难度极大,如果三星美国工厂计划生产3nm制程芯片的话,按照正常进度,目前还处于初步计划阶段的德克萨斯州奥斯汀的晶圆工厂,在2023年前难以开展生产。而台积电的3nm制程工艺将于今年进行试产,2022年量产。这对于力求赶超台积电的三星来说,压力还是很大。不过,相信三星3nm制程的主阵地应该还是在韩国本土的。


同5nm一样,全球半导体业具备且正在3nm制程上进行竞争的产商,依然只有台积电和三星这两家。由于3nm工艺更加高精尖,这种“塔尖上”的竞争会更加激烈,因为能够给这两大晶圆厂提供相关设备、工具、材料、服务等的上游企业更少了,这对于上游供应商来说是个好消息,因为它们的竞争者很少,但对于下游的台积电和三星来说,可选择的上游供应链余量更有限了,特别是对于三星来讲,难度恐怕会更大。


晶圆厂建设


台积电方面,该公司董事长刘德音曾经表示,在3nm制程上,于南科厂的累计投资将超过 2万亿元新台币,目标是3nm量产时,12英寸晶圆月产能超过60万片。60万片的月产能,这是一个非常惊人的数字,不过,在量产初期是达不到的,需要一个过程。据Digitimes报道,台积电3nm芯片在2022年下半年开始量产,单月产能5.5万片起,2023年,将达到10.5万片。


台积电在台南科学园区有3座晶圆厂,分别是晶圆十四厂、晶圆十八厂和晶圆六厂,其中前两座是12英寸晶圆厂,后一座是8英寸晶圆厂。晶圆十八厂是5nm制程工艺的主要生产基地。而除了5nm工艺,台积电3nm制程工艺的工厂,也建在台南科学园区内,他们在2016年就公布了建厂计划,工厂靠近5nm制程工艺的主要生产基地晶圆十八厂。


2020年11月,台积电举行了南科晶圆十八厂3nm厂新建工程上梁典礼,预计今年装机,并于年底试产。


三星方面,2020年初,有外媒报道称,三星已开始其新建的V1晶圆工厂的大规模生产,成为业内首批完全使用6LPP和7LPP制造工艺的纯极紫外光刻(EUV)生产线。而该工厂还被认为是三星3nm制程的主阵地。


据悉,三星V1晶圆厂位于韩国华城、毗邻 S3。三星于2018年2月开始建造V1,并于2019 下半年开始晶片的测试生产。目前,该公司还在扩大V1晶圆厂的产能规模,也在紧锣密鼓地为3nm量产做着准备。


设备


为了如期量产3nm制程芯片,台积电一直在加大投资力度,2021年全年投资预估达到了280亿美元,预计超过150亿美元会用于3nm制程。其中,很大一部分都要用于购买半导体设备,涉及的厂商主要有ASML、KLA、应用材料等,他们供应的光刻机、蚀刻机等都是制造3nm制程芯片的重要设备。


全球排名前五的半导体设备供应商在台积电采购中占比达75%,其中,ASML占比1/3,是第一大设备供应商。据统计,2019年台积电设备采购中,ASML光刻机等设备金额约为34亿美元,占台积电总采购额的33%,其次是应用材料,采购额约为17亿美元,占比16%,TEL约12亿美元,占11%,Lam Research为10亿美元,占台积电采购额的9%,迪恩士占5%,KLA占4%。


对于3nm这样尖端地制程工艺来说,光刻机地重要性愈加突出,而能提供EUV设备的,只有ASML一家,因此,该公司对于台积电和三星的重要性也愈加突出,双方都在尽可能地从ASML那里多获得一些最先进地EUV设备。


不久前,ASML CEO Peter Wennink在财报会上指出,5nm制程采用的EUV光罩层数将超过10层,3nm制程采用的EUV光罩层数会超过20层,随着制程微缩EUV光罩层数会明显增加,并取代深紫外光(DUV)多重曝光制程。


1月20日,ASML公布了2020全年财报,数据显示,2020年,该公司累计交付了258台光刻机,其中EUV光刻机31台。按照交付地区划分,中国台湾地区排名第一,占比36%;韩国排名第二,占比31%;中国大陆排名第三,占比18%。显然,台积电和三星获得了ASML绝大部分的EUV光刻机。


封测


近些年,台积电一直在布局先进封测厂。目前,该公司旗下有4座先进封测厂,分别是先进封测一厂、先进封测二厂、先进封测三厂和先进封测五厂,它们位于竹科、中科、南科、龙潭等地,苗栗竹南封测基地将是其第五座先进封测厂。该厂预计投资3000亿元新台币,位于竹南科学园区周边特定区、大埔范围。


目前来看,该公司7nm制程芯片封测工作已经能够自给自足了,5nm的也在不断扩充之中。面向3nm的封测产线也在建设当中。


为了满足5nm及更先进制程的需求,台积电已建立了整合扇出型(InFO)及CoWoS等封测产能支持,完成了3D IC封装技术研发,包括晶圆堆叠晶圆(WoW)及系统整合单芯片(SoIC)等技术,预计竹南厂将以3D IC封装及测试产能为主,计划今年量产。


人才


对于3nm制程而言,人才更加稀缺,而台积电在这方面具有更多优势,基于此,可以优中选优,挑选出更合适的人才,特别是领军人物。


此外,台积电在先进制程可以一直领先对手的关键就是封装。封装技术是台积电拿下苹果订单的决胜武器。半导体产业面对物理极限挑战,为了能在同一颗芯片里装进更多晶体管,于是有了先进封测计划。三星就是因为没有这样的技术,所以才与苹果单失之交臂。


台积电在封装领域的灵魂人物是余振华与廖德堆两位副总。余振华是台积电闻名世界铜制程技术的重要推手,也是台积电目前后段封测的研发推手;廖德堆2002年加入台积电之前曾在特许半导体及应用材料任职过,曾任晶圆六厂的厂长和后段技术暨服务处资深处长,现负责管理后段技术与营运。



上周,据国外媒体报道,由于芯片制程工艺领先,还有更多的厂商在寻求获得台积电产能的支持,目前已知英伟达和高通正在寻求获得台积电3nm芯片制程工艺的产能支持。


此前有报道称,台积电共为3nm工艺准备了4波产能,首波产能中的大部分会留给多年的大客户苹果,后3波将被高通、赛灵思、英伟达、AMD等厂商预订。


具体来看,有报道称,台积电3nm制程的初期订单,已被苹果的Mac台式机/笔记本芯片、iPhone/iPad所用的A17芯片,以及英特尔的最先进CPU包下。


除了苹果A17、英特尔订单外,包括AMD、NVIDIA,以及2020年转向拥抱三星5nm的高通等芯片大厂,据称也都已经预定了台积电3nm制程在2024年的产能。


此外,2020年底,台积电又宣布,将会在2023年推出3nm工艺的增强版,命名为“3nm Plus”,首发客户是苹果。如果苹果继续一年一代芯片,那么到2023年使用3nm Plus工艺的,将会是“A17”。台积电没有透露3nm Plus相比于3nm有何变化,但是显然会有更高的晶体管密度、更低的功耗、更高的运行频率。


有报道称,三星的3nm制程也将定在2022年量产,就是要与台积电一较高下。目前已进入2021年,按照台积电的计划,今年就要进行3nm制程的风险试产,明年量产,而三星也在加快进度。这两大晶圆代工厂的3nm制程争夺战已进入倒计时阶段,在接下来的一年多时间里,两家前进和追赶的步伐将呈现出更快的节奏。


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