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ADXR5290速率传感器的工作原理是什么?

2026/4/20 13:42:39
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ADXRS290是一款高性能俯仰和滚动(层内双轴)角速率传感器(陀螺仪),设计用于稳定应用。

其操作原理主要如下:

ADXR5290设计用于感测x轴和y轴(横滚和俯仰)角速度。ADXR5290基于振动率陀螺仪的原理工作。文末图片显示了四个耦合多晶硅传感结构中的一个的简化图示。每个传感结构都包含一个共振盘,该共振盘被静电驱动共振,在经历角速度时产生产生科里奥利扭矩所需的必要转速元件。

当感测结构暴露于角速率时,产生的科里奥利扭矩驱动每个磁盘进行倾斜运动,这被磁盘下的板感测到。盘和板形成感测角速率的电容式拾取器结构。产生的信号被馈送到一系列增益和解调级,产生电费信号输出。传感器设计拒绝线性和角加速度,因为外部重力表现为共模信号,而ADXR5290的全差分架构消除了这些共模信号。

谐振器需要31V(典型值)才能工作。由于在大多数应用中通常只有5V可用,因此芯片上包含开关稳压器。电荷泵电路的正常运行需要一个额定电压为50V的外部1μF电容器。

在解调和模数转换之后,使用单极带通滤波器对速率信号进行滤波。该滤波器的高通和低通极点可通过数字接口编程。

ADXR5290速率传感器的工作原理是什么?

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