ADXL326是一个完整的三轴加速度测量系统。ADXL326的测量范围最小为±16 g。它包含一个多晶硅表面微机械传感器和信号调理电路，以实现开环加速度测量架构。输出信号是与加速度成比例的模拟电压。加速度计可以测量倾斜传感应用中的静态重力加速度，以及由运动、冲击或振动引起的动态加速度。
该传感器是在硅片上构建的多晶硅表面微机械结构。多晶硅弹簧将结构悬挂在晶片表面，并提供抵抗加速力的阻力。使用由独立固定板和附着在运动质量上的板组成的差分电容器测量结构的挠度。固定板由180°异相方波驱动。加速度使运动质量偏转，使差分电容器不平衡，从而产生振幅与加速度成比例的传感器输出。然后使用相敏解调技术来确定加速度的大小和方向。
解调器输出被放大，并通过32kΩ电阻器带出芯片。然后，用户通过添加电容器来设置设备的信号带宽。这种滤波提高了测量分辨率，有助于防止混叠。
机械传感器
ADXL326使用单一结构来感测X、Y和Z轴。结果，三个轴感测方向高度正交，交叉轴灵敏度很小。传感器芯片与封装的机械错位是横轴灵敏度的主要来源。当然，机械错位可以在系统级别进行校准。
性能
创新的设计技术确保ADXL326内置高性能，而不是使用额外的温度补偿电路。因此，既没有量化误差，也没有非单调行为，温度滞后非常低（在-25°C至+70°C的温度范围内通常<3 mg）。