KXR94-2283是一款三轴硅微机械加速度计,全尺寸输出范围为±2g(19.6m/s2)。传感元件采用Kionix专有的等离子体微机械加工工艺技术制造。加速度感测是基于由感测元件的加速度引起的运动产生的差分电容的原理,其进一步利用共模消除来减少来自过程变化、温度和环境应力的误差。通过使用玻璃料将第二硅盖晶片结合到器件,感测元件在晶片级被气密密封。与感测元件封装的单独ASIC器件提供信号调节和自测试。加速度计采用5 x 5 x 1.2 mm DFN塑料包装,由2.5–5.25V直流电源供电。
当在多路复用模式下工作时,KXR94产品系列具有实现非常高的数据采样率的能力。在内部,传感器元件(X、Y和Z)以“循环”方式以每轴32KHz的速率依次采样。这是每个传感器元件的差分电容采样,它在每个轴的滤波器盖上存储模拟电压。将这种高传感器元件采样率与集成多路复用器的短5μS稳定时间相结合,用户可以获得非常接近3个单独模拟输出的性能。这足以消除最终应用中的任何混叠,因为KXR94将在50Hz的典型带宽和1000Hz的最大频率下运行。